在工業生產過程中所產生的大量廢氣以及一氧化碳、二氧化硫和碳氫化合物等對人體有害物質中包含的VOC有機廢氣是強致癌物。而傳統的處理方式只是將作業點產生的廢氣通過高空排放，但這樣的操作只是將污染轉移至大氣以及周邊的環境中，其污染和危害更大。但工業廢氣處理設備采用的是低溫等離子體高壓放電，電場吸附有害有毒氣體在吸煙板上，在疊加脈沖作用下打開分子鍵、激活自由基、釋放臭氧，通過化學反映， 自由結合，產生二氧化碳和水，對人體無害的同時，還在設備前后設置了各種過濾材料，針對不同廢氣的裝置，確保完全徹底的凈化效果。

　　工業廢氣處理采用吸附法凈化、回收排放尾氣中的有機組份的工業應用是比較成功的，采用的通常流程為TSA或PTSA流程，既可有效脫除有機污染物又可回收有用組份。根據大量實驗研究，西南化工研究院在已開發的多套PSA裝置的預工業廢氣處理裝置中，成功地采用TSA、PTSA技術很好地解決含高沸點有機物的尾氣凈化，如苯、萘等的脫除。隨著工業化程度的不斷提高，人為產生的空氣污染物所占空氣總污染物的比例在不斷增加、對人類自身健康的危害在不斷增大。

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